該儀器X軸、Z軸采用獨立運動系統(tǒng),使用先進的兩軸聯(lián)動運動控制算法,可實現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動掃描,測量時測針在工件表面做仿形運動掃描(主動掃描),既保持了恒測力,又保證了大的陡坡通過能力,工件調(diào)平操作簡單,同時避免了崩針、掛針等問題??梢匀砍檀蠓秶B續(xù)掃描,擁有長達數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力,非常適合大范圍陡坡表面測量,大工件無需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整,就可實現(xiàn)輕松測量。
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